Описание:

Современные системы химического осаждения из газовой фазы серии EasyTube® 3000 являются наиболее продаваемыми и функциональными устройствами для учебных лабораторий и научно-исследовательских отделов промышленных предприятий.

Базовая система состоит из цилиндрической кварцевой рабочей камеры с внутренним диаметром от 70 до 130 мм, в зависимости от требуемого размера подложки. Широкий выбор дополнительных модулей позволяет сконфигурировать систему, удовлетворяющую индивидуальным требованиям пользователя. Многие опции доступны в качестве обновления после инсталляции.

Модель EasyTube® 3000EXT имеет расширенный размер корпуса для установки больших модулей системы. В число таких модулей входят перчаточный бокс, загрузочный шлюз, вращающаяся печь для быстрого нагрева и охлаждения, ВЧ генератор дистанционной плазмы, и/или опция увеличения внутреннего диаметра рабочей камеры до 200 мм для размещения подложек размером 6".

Система отвечает современным стандартам техники безопасности для работы с самовоспламеняющимися на воздухе, коррозионными, горючими и токсичными газами, такими как водород, силан, герман, диборан, хлористый водород и металлоорганические прекурсоры.

Система оснащена протоколами безопасности, сконфигурированными в соответствии с приложением, которые встроены в релейно-контактную логическую схему, программируемый логический контроллер и программное обеспечение CVDWinPrC™.

Особенности:

• Программное обеспечение для управления системой CVDWinPrC™ для контроля процесса в реальном времени, регистрации данных и редактирования рецептов
• Предварительно запрограммированные рецепты
• Размеры подложек до 150 мм х 150 мм (доступна групповая обработка партии подложек за один цикл)
• Консольная автоматическая система загрузки/выгрузки подложек
• До 16 трубопроводов для сверхчистого газа с контролем весового расхода
• Доступна конфигурация для обработки при атмосферном и низком давлении
• Электропечь сопротивления с тремя зонами с температурой до 1200 °C или опция инфракрасного/высокочастотного индукционного нагрева
• Фирменный каскадный процесс контроля температуры в реальном времени
• Высокая производительность с печью FastCool™
• Выбираемые пользователем предупреждающие и аварийные сигналы
• Полная защитная блокировка программного и аппаратного обеспечения
• Гарантия 1 год
• Запуск системы и обучение на месте эксплуатации
• Соответствие стандартам SEMI - S2/S8 и CE

Опции:

• Высокотемпературная электропечь сопротивления до > 1200 °C
• Инфракрасный нагрев для быстрой термообработки > 1100 °C
• Высокочастотный индукционный нагрев до рабочих температур > 1500 °C
• Восходящая плазма 
• Выращивание при помощи изменения постоянного тока
• Вращение подложек для улучшенной однородности процесса
• Прямоугольная камера обработки для улучшенного ламинарного потока газа
• Устройство подачи пара жидкого/твердого источника
• Автоматическое пополнение жидкости барботера
• Стабилизация потока газа (обход рабочей камеры) до подачи в рабочую камеру
• Загрузочный шлюз для изоляции рабочей камеры от окружающей атмосферы
• Перчаточный бокс с продувкой N2 или Ar
• Высоковакуумная рабочая камера и/или камера загрузочного шлюза
• Анализатор остаточных газов
• Воздушно-водяной теплообменник для охлаждающей воды
• Шкафы EasyGas™ для взрывоопасного газа
• Панели для сверхчистого газа EasyPanel™ для аргона, азота, гелия, кислорода
• Система кондиционирования отработавших газов EasyExhaust™ (очиститель/пиролизер)