Униполярный импульсный блок питания для ионной очистки EnerPulse HV

Особенности униполярного импульсного блока питания
Высокая надежность

• Оптимизирован для высоковольтной ионной очистки и низковольтных Bias процессов
• Стабильная топология с падающей характеристикой
• 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
• Низкие помехи и шумы

 

Высоконадежная защита от дуги

• Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
• Быстрое обнаружение дуги и прерывание
• Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
• Встроенный параметр управления дугой

 

Превосходная производительность

• Широкий рабочий диапазон
• Управление различными режимами

Преимущества:

• Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
• Легкая интеграция в систему и техпроцесс
• Удобная работа
• Повышенная производительность
• Низкие затраты на владение

Применения:

• Ионная бомбардировка (высоковольтная очистка)
• Pulse Bias

Технические характеристики

Характеристики	EnerPulse5 HV	EnerPulse10 HV
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	5 кВТ	10 кВт
Выходное напряжение	1400 В
Выходной ток	6.5 А	13 А (опционально до 40 А)
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Униполярный импульс
Частота	20-120 кГц
Время выключения	25 – 90 %
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5

 

 

Импульсный блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerPulse

Особенности импульсного блока питания постоянного тока EnerPulse
Высокая надежность:

• Контроль высокой плотности импульсной плазмы
• Разработан для процессов импульсного распыления
• Стабильная топология с падающей характеристикой
• 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
• Низкие помехи и шумы

 

Высоконадежная защита от дуги:

• Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 1 мДж/кВт)
• Быстрое обнаружение дуги и прерывание
• Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
• Встроенный параметр управления дугой

 

Превосходная производительность:

• Широкий рабочий диапазон
• Регулируемая частота и длительность импульса

 

Преимущества:

• Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
• Легкая интеграция в систему и техпроцесс
• Удобная работа
• Низкие затраты на владение

 

Применения:

• TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и т.д.)
• PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
• Архитектурное стекло, Хранилища данных
• Напыление на корпуса мобильных телефонов
• ITO покрытия для сенсорных панелей
• Осаждение нитридов и оксидов
• PECVD процессы, импульсная очистка

 

 

Технические характеристики

Характеристики	EnerPulse5	EnerPulse10	EnerPulse10LV
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	5 кВТ	10 кВт	10 кВт
Выходное напряжение	800 В (Max. 1200 В)	800 В (Max. 1200 В)	800 В (Max. 1050 В)
Выходной ток	12.5 А	25 А	33.3 А
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Форма сигнала	Импульсный постоянный ток
Частота	20-150 кГц
Время выключения	1.5-7 мс, в режиме постоянного тока
Энергия дуги	менее чем 1 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5	29.5

 

 

Блок питания постоянного тока для магнетронного распыления EnerStream

Особенности блока питания постоянного тока EnerStream
Высокая надежность:

• Разработан для магнетронного распыления на постоянном токе
• Стабильная топология с падающей характеристикой
• 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
• Низкие помехи и шумы
• Уменьшенные выходные пульсации

 

Высоконадежная защита от дуги:

• Самая низкая энергия образования дуги (менее чем 0,5 мДж/кВт)
• Быстрое обнаружение дуги и прерывание
• Превосходные характеристики управления и быстрого изменения сопротивления
• Встроенный параметр управления дугой

 

Превосходная производительность:

• Широкий рабочий диапазон
• Возможность параллельного использования (до 160 кВт/8 блоков)
• Постоянный контроль мощности и силы тока
• Возможность использования с источником PulseGen (импульсный модулятор), что позволяет использовать блок питания как высокоемкостной источник питания
• Дружественный пользователю интерфейс

 

Преимущества:

• Улучшенное качество тонких пленок за счет высокой производительности
• Легкая интеграция в систему и техпроцесс
• Удобная работа
• Повышенная производительность
• Низкие затраты на владение

 

Применения:

• Напыление на полупроводниковые пластины
• Металлические и TCO покрытия для производства дисплеев (LCD, OLED и тд)
• PDP фильтры, тонкопленочные солнечные батареи
• Архитектурное стекло, хранилища данных
• Напыление на корпуса мобильных телефонов
• ITO покрытия для сенсорных панелей
• Напыление на автомобильные диски и производство ламп, FCCL
• Ионное азотирование

 

Технические характеристики

Характеристики	EnerStream 10	EnerStream 15	EnerStream 20
Питание	3 Ф, 208/220/380/440 В, 50-60 Гц
Выходная мощность	10 кВТ	15 кВт	20 кВт
Выходное напряжение	800 В
Выходной ток	25 А (400 В)	37.5 А (400 В)	50 А (400 В)
Регулировка	Мощность/Ток/Напряжение
Энергия дуги	менее чем 0.5 мДж/кВт
Охлаждение	Принудительное воздушное
Размеры, мм	В133 х Ш 483 х Г 605
Вес, кг	26.5	29.5	29.5

 

 

Блок питания постоянного тока для дугового нанесения покрытий EnerWorks/IDU-200N

 

Особенности EnerWorks/IDU-200N
Высокая надежность:

• Оптимальное управление для дугового напыления
• Стабильная топология с падающей характеристикой
• 32х битный DSP обеспечивает высокую скорость и точный контроль
• Пониженные выходные пульсации
• Внутреннее циркуляционное охлаждение
• Компактные размеры

 

Превосходная производительность:

• Автоматический триггер и перезагрузка
• Самодиагностика
• Параллельная работа

 

Преимущества:

• Легкая интеграция в систему и техпроцесс
• Дружественный пользователю интерфейс
• Увеличенный выпуск продукции
• Низкие затраты на владение

 

Применения:

• Упрочняющие покрытия для инструментов и металлических деталей
• Декоративные цветные покрытия
• Покрытия автомобильных и электронных компонентов
• Упрочняющие покрытия для металлических корпусов мобильных телефонов

 

Технические характеристики

Характеристики	EnerWorks 100	IDU-200N
Питание